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集成電路用電子化學品制造關鍵技術通過鑒定

   2025-04-23 中國化工報

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核心提示:日前,北京化工大學等多家單位完成的高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術研究與應用項目,在北京通過了中國石油和化學

日前,北京化工大學等多家單位完成的“高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術研究與應用”項目,在北京通過了中國石油和化學工業聯合會(簡稱“中國石化聯”)組織的科技成果鑒定。記者了解到,北京化工大學教授李群生帶領團隊針對國家戰略需求,研發了高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術,并成功實現產業化應用,成為科技創新和產業創新深度融合的典型案例。

據介紹,該項目在多個領域取得了一系列重大創新成果。根據鑒定意見,該項目建立了精餾塔內氣液兩相流的數學模型,研發了IP型高效填料和導向復合塔板,填料分離效率提高了37.5%~50%,塔板分離效率達到75%~85%;發明了反應除雜技術,利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應為四氯化硅,產品純度達到99.9999999%(9N級);開發了等離子反應合成技術,實現乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N級)乙硅烷。

同時,該項目發明了精餾—連續多級逆流分布結晶技術,應用于對二氯苯-鄰二氯苯等分離,產品純度≥99.999%;開發了優化結構的雙載體吸附系統,與精餾及其他分離技術耦合,實現對雜質的深度脫除,生產出99.999999%(8N級)四氯硅烷;開發了高效抗雜質滲入技術,實現了電子化學品生產設備的超潔凈防護。其中,電子級氫氟酸單個金屬離子雜質含量降至5ppt以下,突破G5標準要求。

據了解,該項目不僅在科技創新方面屢獲突破,在產業化應用領域也收獲累累碩果。項目成果已在多家企業獲得廣泛應用,并生產出百余種產品,取得了顯著的經濟效益、社會效益和環境效益。


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